SEMI S13
半導体製造装置のマニュアルガイドライン
に適合します!

SEMI規格とは…

SEMI規格は、半導体製造装置の業界団体SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)が定めた半導体製造装置のガイドラインです。半導体製造装置業界では、避けては通れないデファクトスタンダードとなっています。
その中でも「Sシリーズ」は、半導体・FPD製造業界の製造装置に対する環境、 健康、安全(environmental health and safety: EHS)に関わりのある安全ガイドラインでです。さらに「S13」は、『製造装置と共に使用することが 意図された装置ユーザーへの提供文書のための環境、健康、安全ガイドライン』です。

つまり、SEMI S13 は、半導体・FPDの製造装置のマニュアルに関するガイドラインであり、半導体・FPDの製造装置を出荷する際は、ほとんどの場合に準拠を要求されます。

ラピス・ゴールドでは、安全認証の第三者機関で培ったノウハウを基にS13の適合評価を行い、必要に応じてヒアリングや取材を行いマニュアルの改訂・制作を行います。

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